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电子化学品分析

发布时间:2021-06-02 来源: 英格尔集团 点击:199
   湿电子化学品概述

  湿电子化学品,又称超净高纯试剂或工艺化学品,是指主体成分纯度大于99.99%,杂质离子和微粒数符合严格要求的化学试剂。主要以上游硫酸、盐酸、氢氟酸、氨水、氢氧化钠、氢氧化钾、丙酮、乙醇、异丙醇等为原料,经过预处理、过滤、提纯等工艺生产得到的高纯度产品。

  湿电子化学品是微电子、光电子湿法工艺制程中使用的各种液体化工材料,是电子技术与化工材料相结合的创新产物,具有技术门槛高、资金投入大、产品更新换代快等特点。

  湿电子化学品的分类

  1.按用途分

  湿电子化学品按用途主要分为通用化学品和功能性化学品两类。其中通用化学品以高纯溶剂为主,例如氧化氢、氢氟酸、硫酸、磷酸、盐酸、硝酸等;功能性化学品指通过复配手段达到特殊功能、满足制造中特殊工艺需求的配方类或复配类化学品,主要包括显影液、剥离液、清洗液、刻蚀液等。
电子化学品分析

  2.按应用领域分

  湿电子化学品目前广泛应用在半导体、平板显示、太阳能电池等多个领域,其中液晶面板领域增速快。即按下游产品应用的工艺环节分,主要有平板显示制造工艺的应用、半导体制造工艺的应用及太阳能电池板制造工艺的应用。

  其中平板显示制造领域对湿电子化学品的需求量最高,半导体制造工艺用湿电子化学品是技术要求最高,太阳能电池板制造用湿电子化学品盈利能力一般。

  湿电子化学品的应用

  湿电子化学品主要应用在半导体、平板显示、太阳能光伏领域等微电子器件制造领域,广泛应用于超大规模集成电路、LED、TFT-LCD面板制造过程、太阳能硅片的蚀刻与清洗。

  超净高纯试剂的应用多种多样,例如在晶圆生产过程中对于晶圆的清洗,在芯片制造光刻工艺中的刻蚀、显影和洗脱过程,同时在芯片制造和PCB板制造中的电镀液(例如硫酸铜)的制备原料硫酸也属于超净高纯试剂范畴。晶圆清洗试剂是前端加工关键工艺。由于集成电路内各元件及连线相当微细,因此制造过程中,如果遭到尘粒、金属的污染,很容易造成晶片内电路功能的损坏,形成短路或断路等,导致集成电路的失效以及影响几何特征的形成。因此在集成电路加工之前,必须对晶圆进行清洗,清除残留在晶圆上之微尘、金属离子及有机物之杂质。

  CMP研磨液的配置原料中涉及超净高纯试剂的应用,例如其中用作氧化剂的双氧水(H2O2)和碱性溶液KOH。在硅表面处理过程中涉及到碱洗除去Si余料和酸洗活化SiO2表面过程中分别涉及碱性试剂氨水NH3•H2O和酸性试剂H2SO4等。

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