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电子化学品标准

发布时间:2022-07-12 来源: 英格尔集团 点击:158
   目前,世界和中国的电子化工产品通常执行半国际标准,其关键技术指标包括单金属离子、单阴离子、粒子数等,根据不同产品的特点,增加一些其他技术指标

  电子化学品质量标准的演变

  以标准化超清洁和高纯度试剂的世界标准,semi(semiconductor equipment and Materials International)于1975年成立了半化学试剂标准化委员会,以制定和标准化超清洁和高纯度试剂半标准的国际统一标准。1978年,德国默克公司也制定了MOS标准。这两个标准对超清洁和高纯度化学品中的金属杂质和(灰尘)颗粒的要求有不同的强调,分别适用于不同级别集成电路的制造要求

  国际公认的电子化学品标准大致可分为四类:一类是基于semi的美国试剂标准;是基于德国e.merck标准的欧洲试剂标准;一是以关东和和和子的湿电子化学品为代表的日本试剂标准;另是以rea为代表的俄罗斯试剂标准。ULSI在世界范围内的快速发展使这些标准的指标逐渐接近,但在进入21世纪之前,半标准已在世界范围内得到广泛认可,国际标准化半组织根据世界电子化学品的实际发展情况,合并了原有的分类体系。它根据品种对其进行分类,并将每个品种合并为一个指导标准,包括不同工艺和技术的多个等级。对应不同技术水平的集成电路,对电子化学品的标准要求越高,对纯度和清洁度的要求就越高。如果电子化学品分级或分级,则用于≥1.2μM为低档产品(需半C1级湿电子化学品),0.8~1.2μM为中低档产品(需半C7级电子化学品),0.2~0.6μM为中高端产品(需半C8级电子化学品)。0.09~0.2μM和<;零点零九μM属于高端产品(需要半C12级电子化学品),其中≥1.2μM和0.8~1.2μM硅片主要用于制作分立器件;0.2~0.6μM和0.09~0.2μM硅片主要用于大规模集成电路和超大规模集成电路制造

电子化学品标准

  可以看出,电子化学品制备的关键是控制并达到所需的杂质含量和粒径。为了使超净高纯度试剂的质量达到要求,必须同时从多个方面进行保证,包括试剂纯化、包装、供应系统和分析方法。目前,世界上常用的纯化工艺有十多种,适用于生产不同成分和要求的超清洁高纯度试剂,如蒸馏、精馏、连续精馏、盐熔精馏、共沸精馏、亚沸精馏、等温精馏、,真空蒸馏、蒸馏、化学处理、气体吸收等超清洁高纯度试剂在运输过程中容易受到污染,因此超清洁高纯度试剂的包装和供应方式是电子化学品使用的重要组成部分。特别是粒子控制的相关技术贯穿于超清洁高纯度试剂的生产和运输,包括环境控制、过程控制、成品包装控制等环节

  目前,国际上制备半c1到半c12电子化学品的技术已经成熟。随着集成电路制造要求的提高,工艺中对湿电子化学品纯度的要求也越来越高。从技术趋势来看,满足纳米级集成电路的加工需求是超清洁高纯度试剂未来的发展方向之一。

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